Title:
プロセス流体の検証及び再利用のための装置及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024512159
Kind Code:
A
Abstract:
本開示の実施形態は、概して、プロセス流体の検証及び再利用のための装置及び方法に関する。装置は、概して、リソグラフィを実行するためのツールと、ツールに接続された再循環経路と、を含む。再循環経路は、概して、ツールの第１の末端に第１の末端が接続された収集ユニットと、収集ユニットの第２の末端に第１の末端が接続されており、ツールから流れる流体の１つ以上の特性を決定するためのプローブと、を含む。装置の再循環経路は、概して、収集ユニットの第３の末端に第１の末端が接続されており、さらに、プローブの第２の末端に第２の末端が接続された浄化ユニットであって、流体の特性を変更するための浄化ユニットと、をさらに含む。【選択図】図１
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Inventors:
Bangor, Mangesh Ashok
Pishalodi, Gautam
fan, lancelot
Tso, Alan El.
Buchberger, Douglas A., Junior.
Die, Hoision
Lubomirsky, Dmitry
Nemani, Srinivas Di.
Ngai, Christopher S.
Pishalodi, Gautam
fan, lancelot
Tso, Alan El.
Buchberger, Douglas A., Junior.
Die, Hoision
Lubomirsky, Dmitry
Nemani, Srinivas Di.
Ngai, Christopher S.
Application Number:
JP2023560913A
Publication Date:
March 18, 2024
Filing Date:
March 17, 2022
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C25D21/12; C25D21/16; C25D21/18; H01L21/027; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation