Title:
液化された材料を提供するための装置、液化された材料を供給するための、供給システム及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024503401
Kind Code:
A
Abstract:
蒸着装置が提供される。蒸着装置は、液化された材料を提供するタンクと、変更可能な第１の容積を有する第１のユニットとを含み、当該第１のユニットは、第１のアクチュエータを備え、タンクと流体連通する第１のラインを有する。蒸着装置はさらに、変更可能な第２の容積を有する第２のユニットを含み、当該第２のユニットは、第２のアクチュエータを備え、タンクと流体連通する第２のラインを有する。蒸着装置は、第１のユニット及び第２のユニットと流体連通する蒸発配置構成を含む。第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータは、液化された材料を蒸発配置構成に提供するため、変更可能な第１の容積及び変更可能な第２の容積に交互に力をもたらすように構成されている。【選択図】図１
Inventors:
Sauer, Andreas
hacker volker
Depish, Thomas
Scheidt, Ralph
hacker volker
Depish, Thomas
Scheidt, Ralph
Application Number:
JP2023541901A
Publication Date:
January 25, 2024
Filing Date:
December 28, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C14/24
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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