Title:
半導体洗浄用のアルキメデスブラシ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017535081
Kind Code:
A
Abstract:
基板を洗浄する洗浄装置が提供される。１つの態様において、洗浄装置はマンドレルに係合するブラシを備え、ブラシはアルキメデスの螺旋のねじ形状を有する。ブラシは、吸収性材料、好ましくは発泡材で形成される。１つの態様において、ブラシはマンドレルの溝内に配置される。
Inventors:
Bradley Scott Wizards
Eric Scott Nelson
Robert Allen Willis
Eric Scott Nelson
Robert Allen Willis
Application Number:
JP2017525089A
Publication Date:
November 24, 2017
Filing Date:
October 16, 2015
Export Citation:
Assignee:
Illinois Tours Works Inc.
International Classes:
H01L21/304; A46B11/06; A46D1/00
Domestic Patent References:
| JP2007330536A | 2007-12-27 | |||
| JP2000015190A | 2000-01-18 | |||
| JP2013520803A | 2013-06-06 | |||
| JPS60186085U | 1985-12-10 |
Foreign References:
| CN203018351U | 2013-06-26 | |||
| KR20040081973A | 2004-09-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Yasushi Ohashi
Koichi Ito
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Yasushi Ohashi
Koichi Ito