Title:
アレイ基板の検査装置及びその検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4059312
Kind Code:
B2
Inventors:
Atsushi Ota
Application Number:
JP2001328656A
Publication Date:
March 12, 2008
Filing Date:
October 26, 2001
Export Citation:
Assignee:
INTERNATIONAL BUSINESS MASCHINES CORPORATION
International Classes:
G01R31/00; G01R31/28; G02F1/1368; G09F9/00; G09F9/30; G09G3/20; G09G3/36
Domestic Patent References:
| JP6043490A |
Other References:
TFT-LCDにおける真性寄生容量の効果,テレビジョン学会技術報告 Vol.17 No.12 情報ディスプレイ,日本,社団法人テレビジョン学会,1993年 2月19日,第17巻 第12号,p.1~8
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Sakaguchi
Yoshihiro City
Hiromichi Watanabe
Yoshihiro City
Hiromichi Watanabe