Title:
ボロメータ、その製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011145295
Kind Code:
A1
Abstract:
基板（１０１）上にポリマー膜（１０２）、ポリマー膜（１０２）上にサーミスタ抵抗体（１０６）、サーミスタ抵抗体（１０６）と基板（１０１）との中間に光反射膜（１０４）、が形成されている。このため、赤外線やテラヘルツ波が上方から入射されると、その一部はサーミスタ抵抗体（１０６）で吸収されるが、大部分はポリマー膜（１０２）を透過して光反射膜（１０４）で反射される。サーミスタ抵抗体（１０６）と光反射膜（１０４）との距離をｄとしたとき、ｄ＝ｌ／４で示されるｌ以下の波長を有する光成分が共振することにより熱に変わり、サーミスタ抵抗体（１０６）の温度が上昇する。このサーミスタ抵抗体（１０６）の温度上昇による抵抗変化を検出することによって赤外線やテラヘルツ波の強度を検知できる。
Inventors:
Kaoru Narita
Application Number:
JP2012515733A
Publication Date:
July 22, 2013
Filing Date:
May 11, 2011
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
G01J1/02; H01L37/00
Attorney, Agent or Firm:
Shinji Hayami
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