Title:
窒化ホウ素材料およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019503326
Kind Code:
A
Abstract:
窒化ホウ素（ＢＮ）または炭窒化ホウ素（ＢＣＮ）などの窒化ホウ素材料の製造方法が提供される。本方法は、基材を提供する工程と、基材上にアミンボラン錯体を昇華させて窒化ホウ素材料を得る工程とを含んでもよい。アミンボラン錯体は、ボラジン、アミノボラン、トリメチルアミンボラン、およびトリエチルアミンボランを含んでもよいが、それらに限定されない。また、形成される窒化ホウ素材料の組成を制御するために、昇華が行われる温度を変化させてもよい。また、本方法を用いることにより、様々なモルフォロジー、すなわちフィルム、ナノチューブ、および多孔質フォームを得ることができる。
Inventors:
Tay, Ingie Roland
Lee, Hong Lin
Tsang, Siu Hong
Theo, Hanton Edwin
Lee, Hong Lin
Tsang, Siu Hong
Theo, Hanton Edwin
Application Number:
JP2018535333A
Publication Date:
February 07, 2019
Filing Date:
January 09, 2017
Export Citation:
Assignee:
Nanyang Technological University
International Classes:
C01B21/064; C01B32/168; C23C14/00; C23C14/06; C23C16/01; C23C16/38; C23C16/448; H01L21/205; H01L21/31; H01L21/318
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Onda
Hironobu Onda
Atsushi Honda
Miki Nakamura
Hironobu Onda
Atsushi Honda
Miki Nakamura