Title:
真空吸着装置用緩衝シート
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3243232
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】被加工物の破損を抑えることができる真空吸着装置用緩衝シートを提供することを目的とする。【解決手段】被加工物を保持する保持面２０を有する真空吸着装置用緩衝シート１０であって、前記緩衝シートが、樹脂と、前記樹脂とは異なる材料からなる粒径Ｄ５０が０．５μｍ以上５．０μｍ以下である固体粒子と、を含み、前記固体粒子の含有量が、前記緩衝シートの総質量に対して、１０質量％以上２５質量％以下であり、前記保持面から前記保持面の裏面３０まで連通する気泡を有し、ショアＡ硬度が、４０以上７０以下である、真空吸着装置用緩衝シート。【選択図】図１
Inventors:
Hironobu Murakami
Application Number:
JP2023002069U
Publication Date:
August 10, 2023
Filing Date:
June 14, 2023
Export Citation:
Assignee:
Fujibo Holdings Co., Ltd.
International Classes:
B23Q3/08; B24B41/06
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito