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Patent Searching and Data


Title:
CAPACITANCE TYPE TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018019339
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 CMUTの製造方法において、基板による超音波の反射を抑制するための、基板の厚さを薄くする工程を、振動膜の応力特性等の変化を抑制しつつ、簡易に行うこと。【解決手段】 CMUTの製造方法で、空隙部が設けられた領域の積層方向の高さよりも、その領域の外の積層方向の高さの方を高くすることで支柱を形成する工程を有し、この支柱を用いて、基板の積層方向の厚さを薄くする工程を有する。【選択図】 図2

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Inventors:
SETOMOTO YUTAKA
Application Number:
JP2016150107A
Publication Date:
February 01, 2018
Filing Date:
July 29, 2016
Export Citation:
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Assignee:
CANON INC
International Classes:
H04R31/00; B81B3/00; B81C1/00; H04R19/00
Attorney, Agent or Firm:
阿部 琢磨
黒岩 創吾