Title:
カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024041071
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】良好なＬＥＲを有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物等を提供する。【解決手段】特定の構造を有するカルボン酸塩又は該塩に由来する構造単位を有するカルボン酸発生剤、樹脂等及びレジスト組成物。【選択図】なし
Inventors:
Shohei Terato
Ryoken Aono
Koji Ichikawa
Ryoken Aono
Koji Ichikawa
Application Number:
JP2023148395A
Publication Date:
March 26, 2024
Filing Date:
September 13, 2023
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/004; C07C69/653; C07D317/36; C09K3/00; G03F7/039; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Shinju Global IP