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Title:
フレキシブル基板用のキャリア
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018537586
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、真空処理チャンバ内でフレキシブル基板（１０）を支持するための装置（１００）を提供する。本装置（１００）は、回転軸（１０５）を中心にして回転可能な被覆ドラムであって、フレキシブル基板（１０）を支持するように構成された支持面（１１０）を有し、支持面（１１０）は回転軸（１０５）に対して対称であり、回転軸（１０５）と支持面（１１０）の中央部（１１２）との間の、回転軸（１０５）に垂直な方向の第１の距離（１２０）が、回転軸（１０５）と支持面（１１０）の縁部（１１４、１１６）との間の第２の距離（１２２）よりも小さい、被覆ドラムを含む。【選択図】図１

Inventors:
Hein, Stephan
Gerber, Gunter
Sauer, Andreas
Application Number:
JP2018526168A
Publication Date:
December 20, 2018
Filing Date:
November 20, 2015
Export Citation:
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Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C16/54; B65H27/00; C23C14/56
Domestic Patent References:
JP2013224470A2013-10-31
JP2015021161A2015-02-02
JP2012132080A2012-07-12
JPH09181005A1997-07-11
JPH0372073A1991-03-27
JP2004143520A2004-05-20
JPH11193460A1999-07-21
JP2013129464A2013-07-04
Foreign References:
DE1021231B1957-12-19
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation



 
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