Title:
チャンバ、分析装置および分析方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020957
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】温度および湿度が制御された環境下において、分析対象を精度良く分析すること。【解決手段】本発明の実施形態によるチャンバは、内部を調温調湿されたガスが流れるチャンバであって、互いに対向する前面および後面を有し、前記前面および前記後面には、それぞれ、前記前面に照射される照射線を後方に透過させる透過部が形成され、前記前面の前記透過部および前記後面の前記透過部は、それぞれ、前記ガスが流れる空間に接する内窓を有し、前記前面の前記内窓の内面と前記後面の前記内窓の内面の少なくとも一方の温度は、調整可能である。【選択図】図２
Inventors:
Takuya Yumine
Takashi Kamijo
Takashi Kamijo
Application Number:
JP2022123534A
Publication Date:
February 15, 2024
Filing Date:
August 02, 2022
Export Citation:
Assignee:
NITTO DENKO CORPORATION
International Classes:
G01N21/03
Attorney, Agent or Firm:
Takafumi Momii
Misa Yamamoto
Misa Yamamoto