Title:
チャンバ弁
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018520326
Kind Code:
A
Abstract:
真空圧を必要とするプロセスで使用するための真空チャンバ（１００）は、進行方向におけるバルブのために要する間隔を最小限に抑えた小型設計を有する。チャンバ弁ゲート（１１６）は、ゲートが出入口（１１０）からずれた第１位置と、ゲートが出入口と整列した第２位置との間を移動可能である。ゲートは、出入口に平行又は略平行な平面内にある状態で出入口と整列させられるように移動することになる。【選択図】図４
Inventors:
Maddox, John Yee.
Application Number:
JP2018506802A
Publication Date:
July 26, 2018
Filing Date:
April 22, 2016
Export Citation:
Assignee:
General Plasma Incorporated
International Classes:
F16K3/06; C23C14/56; C23C16/44; F16K1/24; F16K3/18; F16K31/04; F16K31/52; F16K41/00; F16K51/02
Domestic Patent References:
| JP2005076845A | 2005-03-24 | |||
| JPS6050162A | 1985-03-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito