Title:
化学蒸着用材料、膜の製造方法及び膜
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000112
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】新規の化学蒸着用材料、膜の製造方法及び膜を提供する。【解決手段】以下の式（１）で表される化学蒸着用材料。【化１】JPEG2024000112000009.jpg38170（ここで、Ｅは、酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はテルル原子である。Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数１から７の直鎖、分岐若しくは環状の有機基であって、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の少なくも一つはフッ素原子を含む。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のすべてが水素原子であることを除く。）【選択図】なし
Inventors:
Sunao Uemura
Greer Jemi
Dusara Christian
Greer Jemi
Dusara Christian
Application Number:
JP2022098679A
Publication Date:
January 05, 2024
Filing Date:
June 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Rail Liquide-Societe Anonym Pools Retude e Rex Prosatation de Procede Georges Claude
International Classes:
C07C31/38; C07F1/02; C23C16/18; C23C16/455
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Junias International Patent Office