Chemical vapor deposition using materials for chemical vapor deposition which consist of a different-species double core complex, and the materials for chemical vapor deposition

Title:

Chemical vapor deposition using materials for chemical vapor deposition which consist of a different-species double core complex, and the materials for chemical vapor deposition

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5952461

Kind Code:

B1

Abstract:

【課題】均質な薄膜を形成することができるとともに、その品質管理も容易な、簡易プロセスにより複数種類の金属薄膜を形成可能な化学蒸着用原料の提供。【解決手段】中心金属である第１遷移金属及び第２の遷移金属に、配位子として、少なくとも、ジイミン及びカルボニルが配位した下式で示した異種複核錯体の化学蒸着用原料。（Ｍ１、Ｍ２は相互に異なる遷移金属；ｘは０−２、ｙは１−２、ｚは１−１０；Ｒ１〜Ｒ４は各々独立にＨ、Ｃ１〜５のアルキル基；Ｒ５はＨ、カルボニル、Ｃ１〜７のアルキル基、アリル基、又はアリル誘導体）【選択図】なし

Inventors:

Ryosuke Harada
Toshiyuki Shigetomi
Shunichi Nabeya
Kazuharu Suzuki
Kumakura Akiko
Tatsuo Aoyama
Takayuki Sone

Application Number:

JP2015096980A

Publication Date:

July 13, 2016

Filing Date:

May 12, 2015

Export Citation:

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Assignee:

Tanaka Kikinzoku Kogyo Co., Ltd.

International Classes:

C23C16/18; C07C251/08; C07F13/00; C07F15/00; C07F15/06; C07F19/00; H01L21/285; H01L21/31

Other References:

JPN6016020531; Ａａｒｎｔｓ: 'Ｓｙｎｔｈｅｓｅｓ，　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ　ａｎｄ　ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｉｃ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｎｏｖｅｌ　ｉｎｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ　ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ　Ｒｕ（Ｅ）（Ｅ'）（ＣＯ）' Ｉｎｏｒｇａｎｉｃａ　Ｃｈｉｍｉｃａ　Ａｃｔａ２５６, 1997, ｐ．９３-１０５
JPN6016020534; Ａａｒｎｔｓ: 'Ｐｈｏｔｏｃｈｅｍｉｃａｌ　ｂｏｎｄ　ｈｏｍｏｌｙｓｉｓ　ｉｎ　ａ　ｎｏｖｅｌ　ｓｅｒｉｅｓ　ｏｆ　ｍｅｔａｌ-ｍｅｔａｌ　ｂｏｎｄｅｄ　ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ　Ｒｕ（Ｅ）（Ｅ'）（ＣＯ）２（ｉＰｒ-ＤＡ' Ｉｎｏｒｇａｎｉｃａ　Ｃｈｉｍｉｃａ　Ａｃｔａ２６６, 1997, ｐ．３７-４６
JPN7016001401; Ｓｌａｇｅｒｅｎ: 'Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｖａｒｉａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｃｏ-ｌｉｇａｎｄｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｓ　ａｎｄ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏ' Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，Ｄａｌｔｏｎ　Ｔｒａｎｓ． , 2002, ｐ．２１８-２２５

Attorney, Agent or Firm:

Patent business corporation Tanaka, Okazaki and Associates

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