Title:
反ったワークピースを取得するチャック
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024517231
Kind Code:
A
Abstract:
チャックは、チャック表面と、前記チャック表面上に分布した伸長可能なポートアセンブリとを含む。各伸長可能なポートアセンブリは、吸着源に接続可能な管路と、ワークピースと接触するときにシールを形成し、前記シールの形成後に前記吸着源によって加えられる吸着によって折り畳むように構成された遠位端を有し、前記チャック表面から遠位方向に伸長するチューブとを含む。複数の非伸長可能な真空ポートは、伸長可能なポートアセンブリに散在している。少なくとも１つのエリアシールは、前記チャック表面から延び、前記チャック表面における、前記非伸長可能な真空ポートの少なくとも１つを含む領域を区画し、エリアシールが前記ワークピースと接触するときに気密シールを形成するように構成される。【選択図】なし
Inventors:
Nishri Boaz
Hermann Ami
Gulare Neil
Regerbaum Yaakov
Birger Igor
Segal Aron
Genender Mart
Lautmann Ronen
Hermann Ami
Gulare Neil
Regerbaum Yaakov
Birger Igor
Segal Aron
Genender Mart
Lautmann Ronen
Application Number:
JP2023567870A
Publication Date:
April 19, 2024
Filing Date:
April 28, 2022
Export Citation:
Assignee:
Core Flow Limited
International Classes:
H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Kazuyoshi Hayashi
Tetsuo Shiba
Takuya Saito
Mitsuru Iwaike
Kazuhiro Kosuge
Tetsuo Shiba
Takuya Saito
Mitsuru Iwaike
Kazuhiro Kosuge