Title:
クリーンルーム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6851456
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】既存室に清浄室を効率的に配置できるとともに、既存天井を撤去することなく清浄室の天井高を容易に確保できるクリーンルームを提供する。【解決手段】複数の清浄室２５〜２８と、前記清浄室に隣接配置されるとともに、既存室１０との間で通気可能な少なくとも２つの前室２３，２４とを備え、前室２３，２４と清浄室２５〜２８とを仕切る仕切壁３０〜３３に、清浄室の空気を吸込み洗浄して前室に排気する排気側ファンフィルタユニット４０〜４３が設けられ、既存天井１１の下方に天井２１が設けられ、天井２１に、少なくとも前室２３，２４から既存室１０に流出した空気を吸込み洗浄して清浄室に給気する給気側ファンフィルタユニット４５が設けられている。【選択図】図１
Inventors:
Kenji Takagi
Hiroshi Goto
Hiroshi Yamamoto
Hiroshi Goto
Hiroshi Yamamoto
Application Number:
JP2019235703A
Publication Date:
March 31, 2021
Filing Date:
December 26, 2019
Export Citation:
Assignee:
Japan Airtech Japan Ltd.
International Classes:
F24F7/06; A61L9/015; B01L1/04
Domestic Patent References:
| JP2019100594A | ||||
| JP2011247492A | ||||
| JP20145992A | ||||
| JP2011234929A |
Foreign References:
| KR200405155Y1 | ||||
| WO2009001698A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Kuribayashi Mitsuo
Osamu Nitta
Kazuki Kuribayashi
Atsushi Miura
Osamu Nitta
Kazuki Kuribayashi
Atsushi Miura