Title:
クリーニング・チャンバおよびクリーニング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022527664
Kind Code:
A
Abstract:
この開示は、チャンバ本体と、チャンバ本体内に配されている搬送デバイスと、スプレー・デバイスとを含むクリーニング・チャンバおよびクリーニング装置を提供する。搬送デバイスは、クリーニング対象を搬送するべく構成されている。スプレー・デバイスは、搬送デバイスの上方および周りに配され、かつクリーニング対象に対してクリーニング流体をスプレーするべく構成されている。この開示によって提供されるクリーニング・チャンバおよびクリーニング装置を用いた場合に、クリーニング流体の使用を低減してクリーニング・コストを低減できる。
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Inventors:
Chan, Hong Chiao
Lee, i-pin
Lee, i-pin
Application Number:
JP2021565970A
Publication Date:
June 02, 2022
Filing Date:
April 15, 2020
Export Citation:
Assignee:
BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.
International Classes:
B08B3/02; H01L21/22
Domestic Patent References:
| JP3176080U | 2012-06-14 | |||
| JPS62127743U | 1987-08-13 | |||
| JP2016112529A | 2016-06-23 | |||
| JP2004230342A | 2004-08-19 | |||
| JP2015017320A | 2015-01-29 | |||
| JPH07328566A | 1995-12-19 | |||
| JPS62198043U | 1987-12-16 | |||
| JP2006245217A | 2006-09-14 | |||
| JP2002184700A | 2002-06-28 |
Foreign References:
| CN208261487U | 2018-12-21 | |||
| US2471506A | 1949-05-31 | |||
| US20060237054A1 | 2006-10-26 | |||
| CN106824929A | 2017-06-13 | |||
| CN207170391U | 2018-04-03 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Shinei Patent Office