Title:
クリーニングツール及び被加工物の加工方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024007152
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】加工後の被加工領域の屑をより適切に除去できるクリーニングツールを提供する。【解決手段】砥粒を含む環状の切削ブレードを装着できるように構成されたスピンドルに装着して使用され、切削ブレードで被加工物を加工する際に発生し被加工物の切削ブレードで加工された被加工領域に存在する屑を被加工領域から除去する際に用いられるクリーニングツールであって、スピンドルへの装着に使用される開口部を中央部に有し、被加工物よりも柔軟な弾性材で環状に構成され砥粒を含まない。【選択図】図４
Inventors:
Kenji Takenouchi
Application Number:
JP2022108424A
Publication Date:
January 18, 2024
Filing Date:
July 05, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B24B27/06; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato