Title:
被覆された多孔質ポリマー膜
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019523904
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、架橋された重合性モノマーで被覆された多孔質ポリマー膜を提供する。多孔質ポリマー膜上のコーティングは、有機液体に浸漬されると電荷を有する。金属汚染物質を有機液体から除去するための、被覆された多孔質ポリマー膜、膜を利用するフィルター、及び被覆された多孔質ポリマー膜でフォトレジストに使用される有機液体を処理するための方法が開示される。【選択図】図１Ａ
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Inventors:
Jaber, Judd Ali
Lee, Saxata
Hamzwick, james
Satoshi Kamiyama
Lee, Saxata
Hamzwick, james
Satoshi Kamiyama
Application Number:
JP2018562237A
Publication Date:
August 29, 2019
Filing Date:
May 26, 2017
Export Citation:
Assignee:
Entegris Incorporated
International Classes:
G03F7/26; B01D69/12; B01D71/40; B01D71/44; C08J7/04; C08J9/40; G03F7/004
Domestic Patent References:
| JP2015203048A | 2015-11-16 | |||
| JP2014173013A | 2014-09-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation