Title:
チタン合金及び高温合金加工用コーティングツール及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022552402
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】【解決手段】 チタン合金及び高温合金加工用コーティングツール及びその製造方法。前記のコーティングツールはコーティングがMe-B-Nコーティングであり、このチタン合金及び高温合金加工用コーティングツール及びその製造方法は下記のステップを含む。本体の前処理のステップ：無水エタノールでツールに対する超音波洗浄を行い、熱風でツールを乾燥させてから三次元の回転可能なプラネットキャリアに締め付け、チャンバーに入れる。イオンエッチングのステップ：連続してチャンバーに高純度のArを注入する同時に、チャンバーに内蔵されたヒーターの決まった温度を保ち、本体に負のバイアスを与え、本体に対するイオンエッチングを行ってツールの表面にある酸化皮膜及び緩い層を除去する。沈積Me-B-N系コーティングのステップ：連続してチャンバーに高純度のN2及びArを注入する同時に、チャンバーに内蔵されたヒーターの決まった温度を保ち、本体に負のバイアスを与え、マグネトロンスパッタリング技術で決まった厚さのあるMe-B-N系コーティングが沈積するようにする。サンプリング冷却のステップ：コーティングが完了してからストーブ循環冷却システムをONにし、チャンバーが真空状態で冷却してからチャンバーを開けてワークを取り出す。【選択図】図１
Inventors:
Issei Wang
Kaisei Hayashi
Chung Lee
same spring
▲どん▼陽
Wang Chimin
Kaisei Hayashi
Chung Lee
same spring
▲どん▼陽
Wang Chimin
Application Number:
JP2022522774A
Publication Date:
December 15, 2022
Filing Date:
October 15, 2019
Export Citation:
Assignee:
GUANGDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
International Classes:
C23C14/06; B23B27/14
Attorney, Agent or Firm:
Takahiro Ozaki