Title:
エネルギービームサイズの確認
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017532203
Kind Code:
A
Abstract:
エネルギービームスポットのサイズを確認する方法であって、前記方法は、ワークピース上の第１の位置に、所定のサイズおよび出力を有する第１のビームスポットを提供するステップと、第１のビームスポットに対する最高強度が検出されるまで、そのビームスポットに対する集束および／または非点収差レンズの設定を変更するステップと、ビームスポットの最大強度に対する集束レンズおよび／または非点収差レンズの検出された設定と、所定のサイズおよび出力を備えるビームスポットに対する集束レンズおよび／または非点収差レンズの記憶済みの設定とを比較するステップと、異なる所定のビーム出力に対してステップａ〜ｃを繰り返すステップと、ワークピース上の異なる位置に対してステップａ〜ｄを繰り返すステップであって、集束レンズおよび／または非点収差レンズの検出された各設定の、集束レンズおよび／または非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、ビームスポットのサイズは確認される、ステップとを含む方法。【選択図】図１
Inventors:
Snith andels
Application Number:
JP2017506836A
Publication Date:
November 02, 2017
Filing Date:
July 30, 2015
Export Citation:
Assignee:
A-Cam Arb
International Classes:
B23K26/00; B22F3/105; B22F3/16; B23K15/00; B23K26/21; B23K26/34; B33Y10/00; B33Y30/00; B33Y50/02
Domestic Patent References:
| JP2013248656A | 2013-12-12 | |||
| JP2009524425A | 2009-07-02 |
Attorney, Agent or Firm:
Hayashi Ichiyoshi
Tetsuo Shiba
Iwaike Mitsuru
Tetsuo Shiba
Iwaike Mitsuru