Title:
急速熱アニールランプ用円錐コイル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023515666
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書で開示される実施例は、処理チャンバに熱を供給するように構成されたランプに関する。ランプは、ガスで充填されたハウジングを含む。フィラメントは、ハウジング内に配置される。フィラメントは、上部直径、下部直径、及び長さを有する。一対の電極が、フィラメントに電気的に結合される。一対のピンが、一対の電極に電気的に結合される。一対のピンは、フィラメントにエネルギーを伝達するように構成される。上部直径及び下部直径のいずれか一方の長さに対する比は、約０．３である。上部直径は、下部直径と等しくない。【選択図】図３
Inventors:
Nestrow, Willen K.
Lao, Kaushik
Large, Govinda
Lao, Kaushik
Large, Govinda
Application Number:
JP2022552542A
Publication Date:
April 13, 2023
Filing Date:
November 23, 2020
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01K1/14; H01K1/18; H05B3/10; H05B3/44
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation