Title:
基板研磨部品用の封じ込め及び排気システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024508767
Kind Code:
A
Abstract:
基板研磨部品用の封じ込め及び排気システムが開示される。一態様では、基板キャリアヘッドは、研磨パッドと、ウェーハを研磨パッドに対して保持するように構成された基板キャリアヘッドと、液体を霧化し、霧化された液体の層を研磨パッドの表面領域上に広げるように構成された霧化器と、霧化された液体を収容し排気するように構成されたチャンバと、を含む。基板の化学機械研磨（ＣＭＰ）中に基板を冷却する方法も開示され、この方法は、研磨パッドの表面にスラリーを供給するステップと、以下：研磨パッドの表面に霧化冷却液を供給するステップと、研磨パッドの表面に洗浄液を供給するステップと、の少なくとも１つを実行するステップと、霧化冷却液及び洗浄液の少なくとも一方の少なくとも一部を、表面に近接した点から除去するステップと、を含む。【選択図】図１９
Inventors:
Trojan Daniel Ray
shgroo john kevin
shgroo john kevin
Application Number:
JP2023550016A
Publication Date:
February 28, 2024
Filing Date:
February 24, 2022
Export Citation:
Assignee:
Ax Technology LLC
International Classes:
B24B37/00; B24B37/24; B24B37/34; B24B55/02; B24B55/06; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Masao Sekiguchi
Takashi Onodera
Takashi Onodera