Title:
搬送装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024018207
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】加工ユニットに被加工物を搬送する際、ゴミが発生することを抑制する。【解決手段】搬送装置６０の搬送ユニット６１が、各構成要素の電源であるバッテリー１２３、搬送パッド７１の吸引源である吸引機構１２１、搬送パッド７１のエア源である離反機構１２２、および、水溜部１３１に蓄積される水を循環させる水供給機構１３０を、筐体６１０内に有している。したがって、搬送ユニット６１は、外部から電力、水およびエアの供給を受ける必要がないため、搬送ユニット６１から外部に延びる配線および配管、ならびに、配線および配管を収容する収容部材を備えていない。このため、収容部材と配線および配管とが擦れることによるゴミの発生を抑えることができる。【選択図】図３
Inventors:
Atsushi Sada
Yuki Yasuda
Takeshi Dejima
Yuki Yasuda
Takeshi Dejima
Application Number:
JP2022121388A
Publication Date:
February 08, 2024
Filing Date:
July 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q7/00; B23Q7/04; B23Q11/00; B24B41/06; B24B55/02; H01L21/304; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office