Title:
切削装置及びドレス方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024001803
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被加工物の加工品質が悪化することを抑制することができること。【解決手段】切削装置１は、被加工物２００を保持する保持テーブル１０と被加工物２００を切削する切削ブレード２１が装着されるスピンドル２３を有した切削ユニット２０とドレス材２１０を保持するサブテーブル５０と少なくとも切削ユニット２０を制御する制御ユニット１００と切削ブレード２１の偏心量を検出する偏心量検出ユニット６０を備える。制御ユニット１００は、切削ブレード２１のドレス条件を記憶するドレス条件記憶部１０１と切削ブレード２１の偏心量の許容閾値を記憶する許容閾値記憶部１０２と偏心量検出ユニット６０で検出された切削ブレード２１の偏心量が許容閾値記憶部１０２で記憶された許容閾値を超えた際にドレス条件記憶部１０１で記憶されたドレス条件でドレスを実施するドレス実施指令部１０３とを有する。【選択図】図１
Inventors:
Wu Yui Chen
Application Number:
JP2022100692A
Publication Date:
January 10, 2024
Filing Date:
June 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B53/00; B24B27/06; B24B49/12; B24B53/02; B24B53/12; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office