Title:
切削方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024016543
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被加工物の側面から突出する様に形成されるバリの発生量を低減する。【解決手段】回転する切削ブレードを、延性材を有する矩形板状の被加工物の一端から他端へ向かう所定方向に相対的に移動させて、被加工物の延性材を含む被切削領域を切削する切削方法であって、補助部材を用いない場合に被加工物の切削時に被加工物の側面から突出する様に形成されるバリの突出方向であって切削ブレードの回転方向に応じて定められるこの突出方向の基端部側における被加工物の側面に補助部材が接触する態様で、補助部材と被加工物とを保持テーブルで保持する保持ステップと、保持ステップの後、回転する切削ブレードを、被加工物の所定方向に相対的に移動させて、補助部材と、被加工物の被切削領域と、を切削する切削ステップと、を備える切削方法を提供する。【選択図】図１
Inventors:
Riki Nakano
Application Number:
JP2022118754A
Publication Date:
February 07, 2024
Filing Date:
July 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B27/00; B24B53/017; B24B53/12; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
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