モアレ効果を呈するデバイス様オーバレイ計量ターゲット

Title:

モアレ効果を呈するデバイス様オーバレイ計量ターゲット

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2023533520

Kind Code:

A

Abstract:

計量システム及び計量方法が開示される。本計量システムは、標本の第１層上にある一組のデバイスフィーチャ、その標本の第２層上にありその一組のデバイスフィーチャと重なっている第１組のターゲットフィーチャ、並びにその標本の第２層上にありその一組のデバイスフィーチャと重なっている第２組のターゲットフィーチャを備える。第１組のモアレフリンジ及び第２組のモアレフリンジの相対位置により、標本の第１層と標本の第２層との間のオーバレイ誤差が示される。

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Inventors:

Volkovich Royer
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Johanan Raviv
Ginobu Car Mark

Application Number:

JP2023500345A

Publication Date:

August 03, 2023

Filing Date:

June 30, 2021

Export Citation:

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Assignee:

KLA Corporation

International Classes:

H01L21/66; G01B11/00

Attorney, Agent or Firm:

Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office

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