Title:
フィルムチャンバを用いた差圧測定
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017524903
Kind Code:
A
Abstract:
テストチャンバ（１０）と、第１の逆止弁（２４）によりテストチャンバ（１０）から気密に離隔することができる基準チャンバとの差圧を測定するための漏れ検出装置であって、基準チャンバの内部圧力とテストチャンバ（１０）の内部圧力との差圧を測定するために、基準チャンバおよびテストチャンバ（１０）に差圧センサ（３４）が接続される、漏れ検出装置において、テストチャンバ（１０）および基準チャンバが各々、可撓性フィルムから形成される少なくとも１つの壁領域を有し、テストチャンバの容積（２０）に隣接するテストチャンバ（１０）の可撓性の壁領域の表面積に対するテストチャンバの容積（２０）の比と、基準チャンバの容積に隣接する基準チャンバの可撓性の壁領域の表面積に対する基準チャンバの容積の比とが、実質的に等しい、ことを特徴とする、漏れ検出装置。
Inventors:
Wetzich, Daniel
Decker, Gilvio
Decker, Gilvio
Application Number:
JP2016569991A
Publication Date:
August 31, 2017
Filing Date:
June 09, 2015
Export Citation:
Assignee:
Inficon GmbH
International Classes:
G01M3/26; G01L13/00
Domestic Patent References:
| JPH01118734A | 1989-05-11 | |||
| JPS60227144A | 1985-11-12 | |||
| JPS4869389U | 1973-09-03 | |||
| JPS58129133U | 1983-09-01 | |||
| JPH10293075A | 1998-11-04 | |||
| JPH11237299A | 1999-08-31 | |||
| JPS56501578A | 1981-10-29 | |||
| JP2014533825A | 2014-12-15 |
Foreign References:
| US20140311222A1 | 2014-10-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Tomoko Tsujida