Title:
モリブデン含有膜の堆積用二核モリブデン前駆体
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024505381
Kind Code:
A
Abstract:
二核モリブデン配位錯体が記載される。基板上にモリブデン含有膜を堆積する方法が記載される。基板は、二核モリブデン前駆体及び反応物に曝露されて、モリブデン含有膜（例えば、元素のモリブデン、酸化モリブデン、炭化モリブデン、ケイ化モリブデン、窒化モリブデン）を形成する。曝露は順次的に行うことも、同時に行うこともできる。【選択図】図１
Inventors:
Leoncini, Andrea
Mailman, Paul
Dordevic, Nemanja
Finn, Han Bin
Yong, Doreen Wei Ying
Mailman, Paul
Dordevic, Nemanja
Finn, Han Bin
Yong, Doreen Wei Ying
Application Number:
JP2023541279A
Publication Date:
February 06, 2024
Filing Date:
January 10, 2022
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C07F11/00; C23C16/18; C23C16/455; H01L21/316; H01L21/318
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation