Title:
指向性エネルギビーム偏向フィールドモニタ及び補正器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024510603
Kind Code:
A
Abstract:
指向性エネルギビーム偏向は、パターニングフィールドの画像の画素座標をパターニングフィールド空間座標に写像することによって補償される。例えば、電子ビーム走査は、画素座標と物理座標との間の写像を生成するために、レチクル上に規定された較正フィーチャを撮像することによって補償される。電子ビームは、パターニングフィールド内の複数の走査位置でのカソードルミネッセンスを生成するために、走査される。画素座標写像で、カソードルミネッセンスの画像が、補償された走査駆動値を決定するために使用される。他の指向性エネルギビーム偏向も同様に補償することができる。【選択図】図１
Inventors:
Diminski, Jacek Kazimierz
Binard, Michael Burke
Binard, Michael Burke
Application Number:
JP2023555649A
Publication Date:
March 08, 2024
Filing Date:
March 04, 2022
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
B23K15/02; B23K15/00; B23K26/042; B23K26/21; B23K26/34
Attorney, Agent or Firm:
Tatsuo Egami
Hiroshi Miwa
Hiroshi Miwa
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