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Title:
距離計測装置、距離計測方法、及び形状計測装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017187510
Kind Code:
A1
Abstract:
本開示は、高精度に対象物体の距離を計測することを可能とするによる距離計測装置について開示する。当該距離計測装置は、波長が異なる複数の光を出射する光源部と、出射された光を計測対象に照射する照射光学素子と、計測対象で反射した光を受光する受光部と、受光素子が検出した信号から光源から計測対象までの距離を算出するプロセッサと、を備える。そして、当該プロセッサは、受光部が検出した信号からそれぞれの波長に対応したピーク周波数を算出する周波数算出処理と、それぞれの波長に対応したピーク周波数から計測対象が振動することで生じるドップラーシフト誤差を低減し、距離を算出する距離算出処理と、を実行する（図５）。

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Inventors:
Tatsuo Hariyama
Masahiro Watanabe
Application Number:
JP2018513983A
Publication Date:
July 19, 2018
Filing Date:
April 26, 2016
Export Citation:
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Assignee:
株式会社日立製作所
International Classes:
G01S7/481; G01S7/4911; G01S7/4912; G01S17/34
Domestic Patent References:
JP2008531993A2008-08-14
JP2012502301A2012-01-26
JP2008275594A2008-11-13
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JP2002372580A2002-12-26
Attorney, Agent or Firm:
Hiraki International Patent Office



 
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