Title:
デュアルゲートバルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6952920
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】デュアルゲートバルブのメンテナンス性の向上を目的とする。【解決手段】プロセスチャンバ側に第１開口をトランスファチャンバ側に第２開口を設けた弁箱と、前記開口をそれぞれ開閉する第１弁体および第２弁体と、一端が前記弁箱内に位置して前記一端に前記第１弁体と前記第２弁体が固定され、他端が本体内に伸びる弁ロッドと、前記弁ロッドを前記通路方向に移動する通路方向駆動機構と、を有し、前記通路方向駆動機構は、第１シリンダ機構と第２シリンダ機構を有し、前記第１シリンダ機構が前記第２シリンダ機構より前記トランスファチャンバ側に配置され、前記第１シリンダ機構のさらに外側に取り外し可能なカバーが設けられ、前記カバーが取り外されることにより、前記第１シリンダ機構の前記第１シリンダが前記本体の前記トランスファチャンバの側において開放状態となる、ことを特徴とするデュアルゲートバルブ。【選択図】図１
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Inventors:
Hideaki Nagai
Jun Saito
Yoshifumi Kaneko
Kurosawa Kazuo
Jun Saito
Yoshifumi Kaneko
Kurosawa Kazuo
Application Number:
JP2021071398A
Publication Date:
October 27, 2021
Filing Date:
April 20, 2021
Export Citation:
Assignee:
V-TEX Co., Ltd.
International Classes:
F16K3/18; F16K27/12
Domestic Patent References:
| JP2008053471A | 2008-03-06 | |||
| JP2009200476A | 2009-09-03 | |||
| JP2001509640A | 2001-07-24 | |||
| JPH01116280U | 1989-08-04 | |||
| JP2016512872A | 2016-05-09 |
Foreign References:
| FR2667376A1 | 1992-04-03 | |||
| US20150075659 | 2015-03-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Nichimine International Patent Office