Title:
二重信号同軸空洞共振器プラズマ発生
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017517675
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマ発生器は、無線周波数電力供給源と、同軸空洞共振器組立体と、直流電力供給源とを含む。無線周波数電力供給源は、電圧に対する電力の第１の比率を有する無線周波数電力の電圧供給を提供する。共振器組立体は、無線周波数電力供給源に結合される中間導体を含み、また仮想の短絡を含む。直流電力供給源は仮想の短絡で中間導体に連結され、第１の比率より小さい電圧に対する電力の第２の比率を有する直流電力の電圧供給を提供する。
Inventors:
Spencer, Michael Jay
Lowry, Andrew Di
Smith, james e
Lowry, Andrew Di
Smith, james e
Application Number:
JP2017505063A
Publication Date:
June 29, 2017
Filing Date:
April 07, 2015
Export Citation:
Assignee:
PLASMA IGNITER, LLC
International Classes:
F02P3/01; F02P23/04; H05H1/24
Domestic Patent References:
| JP2012127286A | 2012-07-05 | |||
| JP2011150830A | 2011-08-04 | |||
| JP2010037949A | 2010-02-18 |
Foreign References:
| US20110175691A1 | 2011-07-21 | |||
| US20110146607A1 | 2011-06-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office