エッジリングリフトを用いた動的シース制御

Title:

エッジリングリフトを用いた動的シース制御

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2024026299

Kind Code:

A

Abstract:

【課題】基板を支持する備えたペデスタルアセンブリを提供する。【解決手段】ペデスタルアセンブリにおいて、中心シャフト５１０は、或る高さにペデスタルを配置する。リング４３０は、ペデスタルの外周に沿って配置され、リングアジャスタサブアセンブリは、中心シャフトの中央部分の周りのアジャスタフランジ５４２と、アジャスタフランジから、ペデスタルの下方に配置されているアジャスタプレート４４０まで延伸するスリーブ４６９と、アジャスタプレートから垂直に延伸する複数のリングアジャスタピン４４５ａ、４４５ｂ、・・・と、を備える。リングアジャスタピンの各々は、アジャスタプレート上で、ペデスタルの外側領域５６５に配置されており、リングの縁部下面に接触している。アジャスタフランジは、ペデスタルの上面に対するリングの高さ及び傾きを規定するために、３つの動的シース制御（ＤＳＣ）アジャスタアクチュエータに結合されている。【選択図】図５Ｃ

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