Title:
縁部平坦化デバイスおよび該デバイスを含む塗工乾燥システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6967637
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】膜厚均一性の高い塗工膜を基板に形成する縁部平坦化デバイスおよび該デバイスを含む塗工乾燥システムを提供する。【解決手段】縁部平坦化デバイス３は、基板７に塗工された塗工液膜８の縁部４９を加熱する加熱部３０と、縁部４９における盛り上がりを測定する盛り上がり測定センサ４０と、縁部４９における塗工液膜８の表面張力を制御する表面張力制御部３２，３３と、表面張力制御部３２，３３を制御する制御部１００とを備え、制御部１００は、縁部４９における盛り上がりを盛り上がり測定センサで測定しながら、表面張力制御部３２，３３を制御して加熱部３０による縁部４９への加熱を制御することによって、縁部４９における塗工液膜８の表面張力を低下させ、塗工液膜８の縁部４９における盛り上がりを抑制する。【選択図】図３
Inventors:
Fukui Shinya
Masaki Yokoyama
Toshio Kobe
Masaki Yokoyama
Toshio Kobe
Application Number:
JP2020129683A
Publication Date:
November 17, 2021
Filing Date:
July 30, 2020
Export Citation:
Assignee:
Chugai Furnace Industry Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/027; F26B5/04
Domestic Patent References:
| JP2004335753A | ||||
| JP2004223377A | ||||
| JP2001232270A | ||||
| JP2020092252A | ||||
| JP2008155194A |
Foreign References:
| US20060003591 |
Attorney, Agent or Firm:
Takuji Yamada
Yukino Okunishi
Yukino Okunishi
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