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Title:
エレクトレットコンデンサー
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005086534
Kind Code:
A1
Abstract:
エレクトレット化されたシリコン酸化膜7を耐湿及び耐熱性を高めるためにシリコン窒化膜8および9で覆い振動電極5上に載置して形成した振動膜30と、固定電極6とを有するエレクトレットコンデンサーマイクロフォンユニット2。

Inventors:
Hiroshi Ogura
Toru Yamaoka
Application Number:
JP2006510648A
Publication Date:
August 09, 2007
Filing Date:
February 24, 2005
Export Citation:
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Assignee:
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd
International Classes:
H04R19/01; B81B3/00; H01G7/02
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Maeda
Hiroshi Takeuchi
Takahisa Shimada
Yuji Takeuchi
Katsumi Imae
Atsushi Fujita
Kazunari Ninomiya
Tomoo Harada
Iseki Katsumori
Seki Kei
Yasuya Sugiura