Title:
高速同調可能な集積型レーザー用チップ上の電気的に同調可能な光共振器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024510991
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、高速で平坦な作動応答を有する部品のための電気的に同調可能なフォトニック共振器デバイスに関するものであって、－レーザー光を結合するための光インターフェースを有する少なくとも１つの光導波路；－光共振器材料、特にＳｉ３Ｎ４からなる導波路を含み、少なくとも１つの光導波路を介して結合されたレーザー光が結合される、少なくとも１つの光共振器；－少なくとも１つの光共振器に少なくとも部分的に機械的応力を印加する少なくとも１つのピエゾアクチュエータ；ここで、少なくとも１つの光共振器、少なくとも１つのピエゾアクチュエータ及び少なくとも１つの光導波路は、フォトニック共振器デバイスの共通基板上にモノリシックに集積されており；－少なくとも１つのピエゾアクチュエータのＡＣ動作によって引き起こされる１つ又は複数の振動の機械的モードを減衰するように構成された機械的モード抑制手段；を備える。【選択図】図１
Inventors:
Kippenberg Tobias
Bhave Sunil
Tian Hao
riemensberger johan
Likhachev Grigory
Siddhartha Anat
Bhave Sunil
Tian Hao
riemensberger johan
Likhachev Grigory
Siddhartha Anat
Application Number:
JP2023555689A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
March 12, 2021
Export Citation:
Assignee:
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
PURDUE RESEARCH FOUNDATION
PURDUE RESEARCH FOUNDATION
International Classes:
H01S5/14; G02B6/12; G02B6/125; H01S5/0225
Attorney, Agent or Firm:
Ken Ieiri