Title:
電子エミッタ及びそれを製作する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019527918
Kind Code:
A
Abstract:
電子エミッタ及びその電子エミッタを製作する方法が開示される。特定の実施形態により、電子エミッタは、約（０．０５〜１０）マイクロメートルの範囲内の直径を有する平面領域を備えた先端部を含む。電子エミッタ先端部は、電界放出電子を解放するように構成される。この電子エミッタは、先端部上にコーティングされた仕事関数低下材料を更に含む。【選択図】図２
Inventors:
Doe, Youin
Fan, gen
Kuo, Tui
Chen, Zhong Wei
Fan, gen
Kuo, Tui
Chen, Zhong Wei
Application Number:
JP2019506099A
Publication Date:
October 03, 2019
Filing Date:
July 31, 2017
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
H01J37/06; H01J1/14; H01J1/144; H01J1/146; H01J1/15
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito