Title:
電鋳方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023507177
Kind Code:
A
Abstract:
金属構造体、特に隣接する外層から先端が突出している構造体を電鋳する方法。この方法は、第１の層を基板上に堆積し、続いて、前記基板に面する基板表面を有する中間構造体を形成するために、１つ又は複数の次の層を前記第１の層と部分的に重ねる段階と、次の段階として、前記中間構造体を前記基板から除去し、１つ又は複数のさらなる層を前記中間構造体の前記基板表面上に堆積する段階と、を含む。
Inventors:
Marco Hermann Laurens Hubert Kusters
Joris Antonius Wilhelmus Münninghoff
Nicholas Hildenbrand
Roy Heraldus Johannes Josef Alberts
Johannes Hendricks Maria Berenshot
Harum Heritto Knorr
Joris Antonius Wilhelmus Münninghoff
Nicholas Hildenbrand
Roy Heraldus Johannes Josef Alberts
Johannes Hendricks Maria Berenshot
Harum Heritto Knorr
Application Number:
JP2022537159A
Publication Date:
February 21, 2023
Filing Date:
December 18, 2020
Export Citation:
Assignee:
Vecobe Fee
International Classes:
C25D1/00; C25D1/20; G03F7/40; H01L21/60
Attorney, Agent or Firm:
Murayama Yasuhiko
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe