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Title:
ELECTROMECHANICAL TRANSDUCER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017208845
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 電気機械変換装置の振動膜の特性のばらつきを低減する。【解決手段】 本発明の電気機械変換装置は、基板と、前記基板上に形成された第一の電極と、前記第一の電極と間隙を隔てて形成されたメンブレンと、前記メンブレン上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、を有する振動膜と、を備える電気機械変換装置であって、前記第一の電極は、表面粗さの二乗平均平方根値が6nm以下であることを特徴とする。【選択図】 図1

Inventors:
TOMIYOSHI TOSHIO
TORASHIMA KAZUTOSHI
AKIYAMA TAKAHIRO
Application Number:
JP2017137178A
Publication Date:
November 24, 2017
Filing Date:
July 13, 2017
Export Citation:
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Assignee:
CANON INC
International Classes:
H04R19/00; H04R31/00
Domestic Patent References:
JP2009055474A2009-03-12
JP2007259165A2007-10-04
JP2011066156A2011-03-31
JP2010272956A2010-12-02
JP2006120939A2006-05-11
JP2009055474A2009-03-12
JP2007259165A2007-10-04
JP2011066156A2011-03-31
JP2010272956A2010-12-02
JP2006120939A2006-05-11
Foreign References:
WO2009069555A12009-06-04
US20050177045A12005-08-11
WO2009069555A12009-06-04
US20050177045A12005-08-11
Attorney, Agent or Firm:
阿部 琢磨
黒岩 創吾