Title:
電子銃、電子線適用装置、および、電子ビームの射出方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6762635
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】フォトカソードを長寿命化できる電子銃を提供する。【解決手段】フォトカソード膜２２を第１面２１ａに形成した基板２１と、フォトカソード膜に励起光を照射するための光源３と、アノード４と、フォトカソード膜及び／又は基板を加熱するための加熱装置５と、加熱装置の加熱温度を調整する出力調整装置６と、を含む、電子銃１。【選択図】図１
Inventors:
Tomohiro Nishitani
Taiki Sato
Taiki Sato
Application Number:
JP2020073311A
Publication Date:
September 30, 2020
Filing Date:
April 16, 2020
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J37/073; H01J1/34
Domestic Patent References:
| JP6679014B1 | ||||
| JP6578529B1 | ||||
| JP9298032A |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto