Title:
電子銃、電子線適用装置、および、電子ビームの射出方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6968473
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】電子銃が有する構成部材のみで、照射対象の所望の箇所に所望の電子ビームパラメータを有する電子ビームを照射できるように設定可能な電子銃を提供する。【解決手段】光源２と、光源２からの受光に応じて、放出可能な電子を生成するフォトカソード３と、フォトカソード３との間で電界を形成することができ、形成した電界により放出可能な電子を引き出し、電子ビームＢを形成するアノード４と、制御部５と、を含む電子銃１であって、制御部５は、電子ビームＢの射出回数を設定し、射出する電子ビームＢ毎に電子ビームパラメータを設定する、または、電子ビームＢの射出時間を設定し、射出する電子ビームＢの電子ビームパラメータを射出時間に関連付けて設定する、電子銃１。【選択図】図１
Inventors:
Tomohiro Nishitani
Application Number:
JP2021088245A
Publication Date:
November 17, 2021
Filing Date:
May 26, 2021
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J40/06; H01J37/06
Domestic Patent References:
| JP2015204404A | 2015-11-16 | |||
| JP6578529B1 | 2019-09-25 | |||
| JP2013197468A | 2013-09-30 |
Foreign References:
| WO2019131410A1 | 2019-07-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto
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