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Title:
電子銃
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6548179
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。【解決手段】主としてＬａＢ６またはＣｅＢ６を元にした電子銃陰極材料１０５を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料１０５を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを１×１０−４ｐａｓｃａｌ以下の真空分圧となるように流入せしめて、１０００℃から１５００℃の温度範囲で加熱する。【選択図】図１

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Inventors:
Hiroshi Yasuda
Yoshihisa Oo
Tatsuya Shibaoka
Eiichi Murata
Application Number:
JP2018051579A
Publication Date:
July 24, 2019
Filing Date:
March 19, 2018
Export Citation:
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Assignee:
Param corporation
International Classes:
H01J37/065; H01J1/148; H01J37/06; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP201763048A
JP200414420A
JP2005235469A
JP2005190758A
JP2008166265A
JP2017063048A
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office



 
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