Title:
電子銃、電子銃用部品、電子線適用装置、および位置合わせ方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6828937
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】電子銃を相手側装置に設置する際の設置位置のずれが大きくてなっても、電子ビームの射出軸を、相手側装置の電子光学系の光軸に軸合わせできる電子銃、電子銃用部品、電子線適用装置、および位置合わせ方法を提供する。【解決手段】電子銃であって、電子銃は、光源と、真空チャンバーと、光源からの受光に応じて、電子ビームを射出するフォトカソードと、電極キットと、電極キット駆動装置と、を含み、電極キットは、フォトカソード受け部と、フォトカソード受け部に対して離間して配置されたアノードと、を含み、フォトカソード受け部にはフォトカソードが載置され、電極キット駆動装置は、一方の方向をＸ方向とし、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｘ方向とＹ方向を含む平面をＸ−Ｙ平面としたとき、Ｘ−Ｙ平面で電極キットを移動させる、電子銃。【選択図】図１
Inventors:
Tomohiro Nishitani
Application Number:
JP2020151320A
Publication Date:
February 10, 2021
Filing Date:
September 09, 2020
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J3/02; H01J1/34; H01J37/073
Domestic Patent References:
| JP2018181403A | ||||
| JP6466020B1 | ||||
| JP6679014B1 |
Foreign References:
| US20070228286 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto