Title:
高温圧力センサーの断熱のための装置及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021528638
Kind Code:
A
Abstract:
高温圧力センサーは、圧力センサー装置と、圧力センサー装置に熱を提供するための、圧力センサー装置の外部にあるヒーターシェル本体とを含む。粒子発生断熱材料は、カプセル化材料内にカプセル化されて、カプセル化材料内に粒子発生断熱材料を含むカプセル化断熱構造を形成し、それにより、カプセル化材料は、カプセル化断熱構造内の粒子発生断熱材料によって発生される粒子を実質的に含む。カプセル化断熱構造は、ヒーターシェル本体の外部に隣接して配置される。
Inventors:
Olly Shamash
Alan Ludbiszewski
Clinton El Percy
Boris Mandaziev
Alan Ludbiszewski
Clinton El Percy
Boris Mandaziev
Application Number:
JP2020570139A
Publication Date:
October 21, 2021
Filing Date:
June 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
International Classes:
G01L19/06
Domestic Patent References:
| JP2015152348A | 2015-08-24 | |||
| JP2018027662A | 2018-02-22 | |||
| JP2009299893A | 2009-12-24 | |||
| JPH08192825A | 1996-07-30 | |||
| JPS6146885A | 1986-03-07 | |||
| JP2017226461A | 2017-12-28 | |||
| JP2007116151A | 2007-05-10 | |||
| JP2000515967A | 2000-11-28 |
Foreign References:
| KR20150034319A | 2015-04-03 | |||
| WO2017119330A1 | 2017-07-13 | |||
| US20100186516A1 | 2010-07-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Axis International Patent Business Corporation