Title:
エッチング液組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003081658
Kind Code:
A1
Abstract:
パーフルオロアルキル基含有リン酸化合物、シュウ酸および水を含有するエッチング液組成物に関する。該エッチング液組成物を用いれば、酸化インジウム錫からなる透明電極膜を、残渣を生じることなく、かつ発泡することなく、精度良くエッチングすることができる。
Inventors:
斎藤 豊
堀内 良昭
堀内 良昭
Application Number:
JP2003579271A
Publication Date:
July 28, 2005
Filing Date:
March 24, 2003
Export Citation:
Assignee:
ナガセケムテックス株式会社
International Classes:
C09K13/00; H01L21/306; C09K13/06; C09K13/08; H01L21/308; H01L31/18