Title:
ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5650902
Kind Code:
B2
Inventors:
古谷 一之
鈴木 勝
鈴木 勝
Application Number:
JP2009273679A
Publication Date:
January 07, 2015
Filing Date:
December 01, 2009
Export Citation:
Assignee:
旭化成イーマテリアルズ株式会社
International Classes:
G03F7/24; B29C33/38; B29C33/42; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Hiroyoshi Aoki
Masayuki Amada
Masayuki Amada