Title:
フィルタ清浄化装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3238672
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】液処理装置の稼働率の低減を防ぎ、フィルタの清浄化処理を効率的に行う。【解決手段】基板に供給する処理液の異物を除くためのフィルタ４が着脱可能な流路１４と、前記フィルタを清浄化する清浄化液を当該フィルタに供給するために前記流路に設けられるポンプ２１と、の組を複数含む流路形成部と、前記各流路における前記フィルタの下流側を構成し、前記基板を処理する処理空間を経由せずに前記清浄化液を排液するための排液部と、前記各ポンプの動作を制御する制御部と、を備える。【選択図】図３
Inventors:
Daiki Shibata
Takashi Ikeda
Ayumu Kawano
Takashi Ikeda
Ayumu Kawano
Application Number:
JP2022001963U
Publication Date:
August 10, 2022
Filing Date:
June 13, 2022
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
B01D41/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Yayoi Patent Office
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