Title:
エッチング液組成物の濾過方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024002671
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】３０℃以上の温度で濾過してもエッチング液組成物の含有成分の濃度変化を抑制しつつ、濾過速度を向上するエッチング液組成物の濾過方法、製造方法及びエッチング方法を提供する。【解決手段】濾過方法は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物を、３０℃以上の温度で濾過する工程を含む。エッチング液組成物は、リン酸、硝酸、２０℃の水への溶解度が９００ｇ／Ｌ以下の有機酸、エッチング抑制剤及び水を含有し、エッチング液組成物中の有機酸の配合量は、１０質量％以上７０質量％以下である。濾過システムは、エッチング液組成物を貯留するタンク１、送液するポンプ２、ろ過処理するフィルタ３、出口５から吐出する流量を制御する出口バルブ４、前記各部を接続する配管Ｐ１、配管から分岐してポンプの上流側に接続する循環経路Ｐ２及び循環するエッチング液組成物の流量を制御する循環バルブ７を備える。【選択図】図１
Inventors:
Yousuke Kimura
Application Number:
JP2022102003A
Publication Date:
January 11, 2024
Filing Date:
June 24, 2022
Export Citation:
Assignee:
Kao Corporation
International Classes:
H01L21/308; C23F1/16; C23F1/46
Attorney, Agent or Firm:
Ikeuchi & Partners Patent Attorney Corporation
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