Title:
流体流量制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022542892
Kind Code:
A
Abstract:
プロセス流体流量制御装置は、入口と、出口と、作動機構と、ダイヤフラムと、を備え、ダイヤフラムは、出口および／または入口と作用的直接連通を行い、作動機構は、圧電駆動部品を備え、プロセス流体流量制御装置は、ダイヤフラムに加わる力を調整するために圧電駆動部品を作動させることによって、プロセス流体流量制御装置を通過するプロセス流体の流量を第１定格範囲内に規制するように構成される。【選択図】図５ｂ
Inventors:
Margol, Boris
Meisels, Shaya
Mimlin, arick
Meisels, Shaya
Mimlin, arick
Application Number:
JP2022504614A
Publication Date:
October 07, 2022
Filing Date:
July 23, 2020
Export Citation:
Assignee:
Ham-Let (Israel-Canada) Limited
International Classes:
G05D7/06; F16K7/16; F16K31/02
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Isono International Patent and Trademark Office
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